真空度是指在一定的空间范围内,空气或其他气体的压力低于大气压的程度。真空度的划分通常是根据气压的大小来进行的,常用的划分方法有以下几种:
1.根据气压范围划分:将真空度按照气压范围划分为高真空、低真空和超高真空三个级别。其中,高真空指气压在10^-3~10^-1 Pa之间,低真空指气压在10^-1~10^3 Pa之间,超高真空指气压低于10^-3 Pa。
2.根据气压单位划分:将真空度按照气压单位划分为毫巴级、帕斯卡级、托级、毫米汞柱级等级别。其中,毫巴级指气压在10^-3~10^3毫巴之间,帕斯卡级指气压在10^-5~10^5帕之间,托级指气压在10^-1~10^3托之间,毫米汞柱级指气压在1~760毫米汞柱之间。
3.根据实际应用划分:真空度的划分还可以根据实际应用领域进行划分。例如,半导体工业中常用的划分方法是将真空度划分为极高真空、超高真空和高真空三个级别,其中极高真空指气压低于10^-7 Pa,超高真空指气压在10^-7~10^-5 Pa之间,高真空指气压在10^-5~10^-3 Pa之间。
总之,真空度的划分方法多种多样,不同的划分方法适用于不同的应用领域和实际需求。