teos是硅酸乙酯，常温下硅酸四乙酯为无色透明液体，有特殊臭味。无水存在下稳定，遇水分解成乙醇与硅酸，在潮湿空气中变浑浊，溶于醇、醚等有机溶剂。分子式为(C2H5O)4Si，熔点-77℃，沸点168.1℃。有毒，对人眼和呼吸道有强烈刺激性。由四氯化硅和无水乙醇作用后经蒸馏而制得。用于制耐热和耐化学腐蚀涂料和制备有机硅溶剂，也可用于有机合成，制备高级水晶的基本原料，光学玻璃处理剂、结合剂、电子工业的绝缘材料等。