“以至”，有“一直到”的意思，表范围、数量、程度、时间等延伸和发展，一般指从小到大，从小到多，从浅到深。
例如：①小附读书不认真，以至做题时总是出错。
②由于时间仓促，以至于我不能做好充分的准备。
③这件事情太出人意料了，以至于我一时不知说什么好。
④要学会游泳，必须一次、两次以至十次百次的反复练习。
⑤在旧社会，劳动人民生活非常艰苦，以至连肚子也填不饱。

“以致”，有“因而造成”、“致使”的意思，表示由于前面所说的原因而造成某种结果，多指不良结果或者不希望出现的结局。
例如：①他如此专心致志地读书，以致没听见铃响。
②父母对这个独生女儿百依百顺，把她娇惯坏了，以致什么都不会干。
③一句话就可以讲清楚，他偏爱咬文嚼字，卖弄学问，以致废话连篇。
④海水中的盐分使他的眼非常疼，以致什么也看不见。
⑤这本书是如此的有趣，以致于我读了一遍又一遍。

以至于：主要用作连接词或短语，一般表示从小到大，从少到多，从浅到深，从低到高。以致于：多用于表示下文是上文所说的原因的结果（多指不好的结果）。