真空度是指在一个封闭的空间中,气体分子的数量和压力较低,接近于真空状态的程度。真空度的测量可以通过以下几种方法:
1.压力计法:利用压力计来测量空间中气体的压力,从而推算出真空度。常见的压力计有电子压力计、毛细管压力计和气体比重法压力计等。
2.质谱法:将待测气体引入质谱仪中,通过质谱仪的分析,可以得到气体中各种分子的质量和相对含量,从而推算出真空度。
3.热导法:利用热导材料在真空和非真空状态下的导热差异来测量真空度。这种方法适用于真空度较高的情况。
4.气体放电法:利用气体放电的特性来测量真空度。当真空度较高时,气体放电的电流较小,反之电流较大。
5.气体流量法:通过测量气体在真空状态下的流量来推算真空度。这种方法适用于真空度较低的情况。
不同的真空度测量方法适用于不同的真空度范围,需要根据具体情况选择合适的方法。