理论上是氯酸的酸酐，实际上并不存在这种物质。

五氟化氮如果存在，由于氟氮只能以单键相连，意味着氮原子周围将会有5对电子，即10电子，而氮是第二周期元素，外层最多只能有sp3共4个轨道，8个电子可容纳，因此矛盾，不能存在一般意义上的五氟化氮。