半干式洗气塔实际上是一个喷雾干燥系统，利用高效雾化器将消石灰泥浆从塔底向上或从塔顶向下喷入干燥吸收塔中。喷入的消石灰泥浆与烟气的流动方向可以为同向也可以为逆向，两者充分发生接触并产生中和作用。由于喷入消石灰泥浆的直径可低至30μm左右，雾化效果佳，所以气液接触面积大，不仅可以有效降低气体温度，中和气体中的酸气，而且喷入的消石灰泥浆中的水分还可在喷雾干燥塔内实现完全的蒸发而不产生废水。其化学方程式为：

这种系统最主要的设备为雾化器，目前通常使用的雾化器为旋转雾化器及双流体喷嘴。本法同时结合了干式洗气法与湿式洗气法的优点，构造简单，投资低，能耗少，压差小，液体使用量远比湿式洗气法低，去除率比干式洗气法高，避免了湿式洗气法废水量产生过多的问题，而且由于其操作温度高于气体饱和温度，故烟气不产生白雾状水蒸气团。但是同样也具有缺点，主要有喷嘴易堵塞，洗涤塔的内壁容易附着并堆积固体化学物质，设计和操作中需要严格控制加水量。

这种旋转雾化器由高速电机驱动，转速可高达10000～20000r/min，液体由转轮中间进入，然后扩散至转轮表面，形成一层液体薄膜，并在高速离心作用下逐渐向转轮外缘移动，再在剪力作用下分裂成30～100μm大小的液滴。液滴喷雾的轨迹及散体面决定了喷淋塔的大小。双流体喷嘴由压缩空气或高压蒸汽驱动，液滴直径一般为70～200μm，由于其雾化面远小于旋转雾化面，所以喷淋室也相对较小。双流体喷嘴构造简单、不易阻塞，但液滴尺寸不均匀。相反，旋转雾化器产生的雾化液滴就较小，只要转速及转盘直径不变，液滴就会保持一定尺寸不变，液滴尺寸均匀，因而酸气去除效率较高，碱性反应剂使用量较少。旋转雾化器的缺点是构造复杂、容易阻塞、价格较贵、维护费用高，其最高与最低液体流量比为20∶1，远高于双流体喷嘴（约3∶1），但最高与最低气体流量比为2.5∶1，又远低于双流体喷嘴的20∶1，多用在待处理的废气流量较大的场合（一般Q>340000m3/h）。